DLC薄膜
在不同熔融温度下制备的DLC薄膜，其硬度和弹性模量随sp3杂化含量变化而显著改变。
罗红波 · Lü, Yanjun · Zhao, Xiaowei · 张永芳
Materials Today Communications 2024
参数信息
- 硬度
- 56.25 GPa
- 弹性模量
- 861.9 GPa
- 硬度
- 39.6 GPa
- 弹性模量
- 482.2 GPa
- (sp2+sp1)杂化含量
- 0 %
- (sp2+sp1)杂化含量
- 51.6 %
技术优势
低于6000 K可获高硬度
熔融温度低于6000 K时，体系中无sp2/sp1杂化，硬度达56.25 GPa，弹性模量861.9 GPa。
性能劣化可定量预测
熔融温度升至8000 K时，(sp2+sp1)杂化含量增至51.6%，硬度降至39.6 GPa，弹性模量降至482.2 GPa。
应用场景
- 耐磨涂层：通过控制熔融温度优化sp3含量，获得高硬度、低磨损的DLC涂层。
- 微机电系统：DLC薄膜的弹性模量可调，可为微机电系统提供抗粘附和耐磨表面。
- 精密仪器：DLC薄膜的高硬度和低摩擦系数可保护精密仪器关键部件。