确定性海绵抛光工具

一种用于超精密非球面光学表面的确定性抛光工具，通过稳定的类高斯去除函数有效抑制中频空间频率误差，适应曲率变化表面。

YuHao, Li · 礼国 · Xue, Jiadai · 丁飞 · 王博

International Journal of Advanced Manufacturing Technology 2024

参数信息

体积去除率预测误差

8 %

中频表面波纹误差

1.8 nm

技术优势

预测准确

基于相对速度模型和接触压力模型，体积去除率预测误差仅为8%，便于工艺参数优化。

曲率适应

通过海绵头的顺应性，在不同曲率表面上仍能保持类高斯去除函数，无需频繁更换工具。

中频误差抑制

多次迭代修形后，中频段功率谱密度显著峰值被抑制，波纹误差从2.4 nm降至1.8 nm。

应用场景

• 超精密光学加工：用于确定性修形，控制中频误差到纳米级。
• 非球面光学组件：适应非球面曲率变化，保持稳定去除函数。
• 高能物理探测器：提升核心光学元件面形精度，保障深空探测性能。