耦合谐振光学压力传感器

灵敏度 6.75 nm/MPa

该传感器利用槽腔与凹槽腔耦合产生的法诺谐振实现压力检测，灵敏度定义为谐振波长偏移与压力的线性关系。

陈朝 · Xinxin, Ma · Tong, Li · 王毅琳

Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica 2024

具体参数

灵敏度

6.75 nm/MPa

技术优势

谐振器最大形变与施加压力呈简单线性关系