350 °C 高压下稳定
采用复合法布里-珀罗腔与温度校准模型，在高温高压环境中实现长期稳定测量。
Qin, Feng · Tan, Jiahang · Shao, Zhiqiang · 王宁 · Zhang, Jie · 朱永
Microsystems and Nanoengineering 2026
60 小时测试中腔长漂移低于 0.1 nm，通过复合腔结构与温度校准模型抑制常规单腔结构的高温漂移。
对称多向悬臂梁与中心质量块结构使交叉轴灵敏度仅为 0.281%，减少非目标方向的干扰。
谐振频率达 7450 Hz，可覆盖更宽频带的振动信号，适用于动态监测。
室温下加速度测量范围达 ±238 g，满足高冲击或高 g 值场景需求。