超声振动磨抛阀面
一种专门用于半导体质量流量控制器阀体密封面自动化加工的磨抛工具，解决手工抛光表面质量不稳定的问题。
程军 · Guo, Zhaozhi · Chuang, Zhang · Jingyu, Li · Song, Kefeng
Particuology 2025
二维超声振动辅助磨抛可使表面粗糙度低至0.003 μm，满足高精度密封要求。
材料去除效率随振幅增大显著提高，有利于缩短加工时间。
加工后表面碳含量降低且无氧元素，有助于保持耐腐蚀性能。