抗沙尘MEMS流量传感器

静电干扰可恢复

该传感器在沙尘污染下会因颗粒摩擦产生的静电电流导致精度漂移，静置后电阻值可恢复，区别于仅考虑热传导影响的传统失效模型。

任万春 · He, Chunhua

Micromachines 2024

技术优势

失效机理更完整

发现除热传导外的静电耗散路径，沙尘摩擦产生的电流经静电耗散进入热敏电阻，使阻值变小，解除了仅考虑热传导的分析盲区。

静置可恢复

实验表明沙尘静置一段时间后，热敏电阻阻值回到预期水平，说明静电干扰并非永久损伤，为传感器维护提供了参考。

应用场景

• MEMS传感器可靠性：补充沙尘环境下除热传导外的静电失效因素，指导可靠性评估。
• 环境监测传感网：用于解释沙尘天气中传感器网络精度漂移现象，优化维护周期。
• 智能建造环境监测：帮助分析施工扬尘环境下传感器数据偏差的静电来源。
• 无人机气流感知：用于多尘飞行环境中无人机气流传感器测量异常的失效归因。