硅针放电离子发生器

周期流注最均稳

该硅针离子发生器在周期流注模式下实现脉冲幅度最均匀稳定，杜绝金属污染并高效消除静电。

Yanyi, Wang · Yining, Ge · Yong, Chen · Li, Wang · 刘轩东

Plasma Science and Technology 2025

技术优势

脉冲最均匀稳定

在周期流注模式下，放电脉冲幅度波动极小，保证离子流密度高度稳定，提升消电均匀性。

电荷输出可调

单位时间电荷量主要由重复频率决定，通过调节电压即可灵活控制中和速率。

应用场景

• 静电消除：在周期流注模式下提供最稳定脉冲，高效中和表面电荷。
• 电荷中和：电荷量由重复频率调控，可灵活控制中和速率。
• 静电防护：硅针无金属污染，在短间隙下提供高重复频率脉冲，预防静电放电。