陶瓷基ITON压阻压力传感器

900°C下高灵敏

该传感器采用Al2O3陶瓷结构和ITO材料，解决了传统压阻式传感器在高温下的失效问题，实现宽温域（室温至900℃）和宽频响应。

Haigang, Wang · Ruliang, Xu · Biling, Wang · Mingyang, Kong · Hanbin, Wang · Yang, Zhe · 张帆 · Yanfeng, Zhan · Qiang, Li · 梁军生

Microsystems and Nanoengineering 2025

参数信息

灵敏度

236 mV/mA/MPa

线性度

3.74 %FS

频率响应

409 kHz

响应时间

12 μs

H2SO4中浸泡70小时后电阻变化

2.4 %

NaOH中浸泡70小时后电阻变化

0.8 %

技术优势

耐温高达900℃

采用Al2O3陶瓷基底和ITON敏感材料，突破了传统硅基压阻传感器的高温失效限制，可在900℃稳定输出。

高温灵敏度高

在900°C时灵敏度达到236 mV/mA/MPa，保持高灵敏压力检测能力。

宽频响应

在25℃至1000℃范围内频率响应超过409 kHz，可用于动态压力测量。

耐酸碱腐蚀

芯片在H2SO4和NaOH溶液中浸泡70小时后，电阻仅分别增加2.4%和0.8%，适用于腐蚀性环境。

应用场景

• 高温压力监测：在900℃下直接测量压力，无需冷却或间接推算。
• 发动机压力测试：监测燃烧室和排气系统的高温动态压力。
• 高超声速飞行器：在气动加热导致的高温表面进行压力测量。
• 极端环境传感：在高温和腐蚀性环境中稳定工作。