修复质量提升
采用优化的图案化CO2激光修复策略，有效抑制修复后凸起边缘并降低光热吸收，提升高价值熔融石英光学元件的修复质量。
Shen, Xiao · 宋辞 · 石峰 · 田野 · 铁贵鹏 · Qiao, Shuo · Peng, Xing · Zhang, Wanli · Hou, Zhanqiang
Micromachines 2023
图案化修复策略将边缘高度从2.6 μm降至1.52 μm，减少光散射和应力集中。
最大光热吸收从784.2 PPM降至209.43 PPM，降低局部热效应风险。
研究了激光功率、辐照时间和光束直径的单独影响，为工艺选择提供指导。