导航级加速度计
该电路与振荡器集成于单封装,使全功能振动梁加速度计成为可能。
Xia, Guaming · 赵杨 · 施芹 · Huang, Jinyang · 裘安萍
IEEE Sensors Journal 2023
在8 grms随机振动下,振动整流误差低于0.5 mg,保证动态环境下的精度。
20 g满量程非线性仅16 ppm,大幅减小大加速度下的非线性误差。
读出电路与振荡器集成在单个CMOS封装内,简化系统设计并提高可靠性。