纳米压印模板修复仪

亚5 nm修复精度

在扫描电镜内对纳米压印模板进行原位缺陷修复，实现跨尺度纳米级定位与操控。

Siyuan, Meng · Jiankang, Jiang · Fubo, Wang · 朱军辉 · Zhang, Qianjun · 王永 · 董为 · 汝长海

IEEE Transactions on Automation Science and Engineering 2025

参数信息

修复范围
22.18×20.92×10.06 mm³
修复精度（X轴）
4.946 nm
修复精度（Y轴）
4.663 nm
修复精度（Z轴）
4.679 nm

技术优势

跨尺度定位

通过宏/微闭环控制系统和光栅位移传感器，在同一平台实现毫米级行程和纳米级定位。

原位修复

在扫描电镜内直接进行修复操作，无需取出模板，避免二次污染和定位误差。

精度高

三轴精度均优于5 nm，可精确修复微小缺陷。

应用场景