面形误差<150 nm
该透镜通过光学性能导向的磨削补偿加工,在保证面形精度的同时抑制了中心尖点,适用于高精度成像系统。
顾鹏 · Chen, Junnan · Huang, Weiwei · Shi, Zhuoqi · 张鑫泉 · 朱利民
Journal of Materials Processing Technology 2024
最大面形误差降至150 nm以下,满足精密成像需求。
有效控制中心区域缺陷,提升表面光学质量。
与传统方法相比,误差补偿的精度和效率均显著提高。