纳米柱修饰硅膜

通过晶态或非晶态纳米柱产生声子局域共振与散射，有效降低硅膜热导率，为热管理提供灵活调控途径。

杨哩娜 · Xu, Yixin · Xianheng, Wang · Zhou, Yanguang

Physical Review Applied 2024

技术优势

采用非晶硅纳米柱可使硅膜热导率显著降低

纳米柱质量增大时，晶态柱体系热导率上升，非晶柱体系热导率几乎不变