差分涡流高速扫描振镜

高温振动下高抗扰

用差分涡流传感替代光学传感，在高温与振动工况下仍保持高精度定位能力。

王琳 · Jingjie, Wang · Shijiao, Liu · Anlin, Li · Haonan, Sun · 刘雪莲 · 王春阳

Mechanical Systems and Signal Processing 2025

参数信息

帧率

80 Hz

均匀线性区间

5 ms

水平转台转速

210 °/s

扫描振镜速度

516 °/s

技术优势

高温振动不断位

差分涡流传感器不受环境光和温度漂移影响，替代光学传感器后，在高温和振动条件下仍能保持高定位精度。

控制策略跟得上

采用分数阶理论与自抗扰控制器，抑制运动控制系统中的不确定性与非线性因素，从而实现高速运动控制。

成像快而不糊

利用扫描振镜的高速摆动实现补偿成像，在80 Hz帧率下保持5 ms均匀线性区间，系统成像清晰。

应用场景

• 高速扫描成像：用高速振镜实现补偿成像，提升帧率与清晰度。
• 激光加工：在高温振动环境下仍能精确控制激光指向。
• 精密测量：差分涡流传感器替代光学传感，确保恶劣工况下的测量精度。
• 运动控制：分数阶自抗扰控制策略抑制扰动，实现高速运动控制。