压电MEMS俯仰/滚转陀螺仪

偏置不稳定性8.85°/h

首次在压电陀螺仪上实现静电模式匹配,同时获得大驱动幅度与宽调谐范围。

王博文 · Zhai, Zhaoyang · Xiong, Xingyin · Yang, Wuhao · 王瑶 · 邹旭东

Microsystems and Nanoengineering 2024

参数信息

偏置不稳定性
8.85 °/h
角度随机游走
0.41 °/√h
频差
0.1 Hz

技术优势

灵敏度提升167倍

频差从171 Hz减小至0.1 Hz,模式匹配后灵敏度大幅提升。

偏置不稳定性改善301倍

与模式失配状态相比,偏置不稳定性改善301倍,达到8.85°/h。

成本低且可实时调频

静电修调相比机械修调成本更低、模式匹配分辨率更高,且支持实时频率控制。

应用场景