拮抗压电定位台

双轴纳米分辨率

两对压电驱动器以拮抗方式布置，借助柔顺机构输出往复运动，同时缓解另一轴运动在驱动器上产生的应力集中。

Haitao, Wu · 汤晖 · 秦岩丁

Machines 2024

参数信息

工作行程

28.27 × 27.62 μm

运动分辨率

8 nm

固有频率

2018 Hz

技术优势

应力集中小

柔顺机构在另一轴运动时发生弹性变形，从而降低压电驱动器上的应力集中。

应用场景

• 精密定位：8 nm 分辨率和 2018 Hz 固有频率支持高精度快速定位。
• 微操作机器人：纳米级运动分辨率可满足细胞等微操作需求。
• 精密仪器：高固有频率和低应力集中适合集成于精密仪器。
• 半导体检测：纳米分辨率和二维行程可用于半导体检测中的精密运动。