多类缺陷一次检出
融合暗场散射与明场偏振探测，一套系统同时覆盖颗粒、划痕、污渍等多种无图形晶圆表面缺陷。
Zhou, Zuoda · 罗海燕 · 熊伟 · Qu, Dingjun · Ruizhe, Ding · 李志伟 · 金伟 · Ru Y. · Shihao, Jia · Hong, Jing
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 2024