激光差分共聚焦轴锥镜

高精抗倾角测量

面向高精度轴锥镜轮廓测量需求,采用法向自适应跟踪与差动共焦聚焦原理,实现高分辨、抗倾角的表面轮廓测量与三维重建。

赵维谦

Optics and Laser Technology 2024

参数信息

峰谷值重复性优于
40 nm
均方根重复性优于
15 nm