低损伤高透低阻
利用外阳极抑制高能负离子溅射损伤，同步提升ITO薄膜结晶质量与载流子浓度。
黄天源 · Chaochao, Mo · Cui, Meili · Li, Maoyang · Ji, Peiyu · Tan, Haiyun · Zhang, Xiaoman · Zhuge, Lanjian · 吴雪梅
Vacuum 2024