激光调制微穹顶压阻单元

宽程高敏一肩挑

通过激光调控局部压缩性与导电通路，打破压力传感器线性范围与灵敏度的固有矛盾

Yifan, Liu · Zheming, Zhang · Xiao, Xu · Hu, Fengming · Ruolin, Liu · Rongmei, Wang · Lei, Ming · Dai, Ziyi · 周冰朴

Chemical Engineering Journal 2026

具体参数

线性范围

{'zh': '1', 'en': '1'} MPa

灵敏度

{'zh': '330.5', 'en': '330.5'} kPa⁻¹

技术优势

线性范围破纪录

激光刻蚀在微穹顶内部制造局部缺陷，调控压缩过程中的导电通路演变，使传感器在0–1 MPa内保持高度线性（R² > 0.99）。

宽程与高敏兼得

同样的压力下，激光处理后的微穹顶比完整结构压缩程度更高，有效增加接触面积和导电通道，从而在保持1 MPa量程的同时实现330.5 kPa⁻¹的高灵敏度。

应用场景

• 电子皮肤：感知微小压力变化，实现类皮肤触觉，用于柔性机器人或假肢。
• 健康监测：监测脉搏、呼吸等微弱生理信号，兼具宽量程以应对运动状态。
• 人机界面：结合机器学习识别手势和摩斯电码，实现高精度人机交互。