三向力实时监测
针对硅片自转磨削过程，建立了一套三向磨削力实时监测系统与理论模型，能准确预测磨削力并评估亚表面损伤。
Tao, Hongfei · Liu, Yuanhang · 赵德文 · 路新春
International Journal of Mechanical Sciences 2023
系统能够在x、y、z三个方向上同时测量磨削力，并保持连续稳定的输出，为工艺监控提供完整力信息。
理论模型综合考虑了磨粒磨损、随机特性、脆韧转变、弹性回复、应变率和磨痕等因素，预测结果与实验高度一致。
通过实验和模型，定量揭示了进给速度、砂轮转速和晶片转速对磨削力的影响规律，为工艺优化提供依据。