低法向力干涉
采用双面梳状错位电极与空间极化场设计，该传感器对法向力响应极低，专用于精确摩擦力测量，且能在低温和水下稳定工作。
Feifei, Xin · 邓进军 · Haiyang, Pei · Zhenxian, Kou · 韩晶 · Yao, Yuan
IEEE Sensors Journal 2024
在60°极化电场下，传感器对高达80 N的法向力输出接近零，而摩擦力灵敏度高达2.95 mV/N，有效分离力分量。
摩擦力感知范围覆盖1 N到16 N，保持线性输出，适用于多种力值场景。
经过2000次循环测试后，传感器仍维持稳定的输出电压，证明其机械和电学稳定性。