双电极A1模兰姆波谐振器

5.89 GHz高耦合

采用双电极结构抑制金属电极的机械与电学负载效应，同时增强电场与应力耦合，在300 nm ZY切铌酸锂薄膜上实现5.89 GHz A1模兰姆波谐振，机电耦合系数达14%，Q值达300，适合高频宽带滤波器应用。

是全

Microelectronics Journal 2023

参数信息

谐振频率

5.89 GHz

基于

300 nm ZY

技术优势

机电耦合系数kₜ²为14%

Q值为300