氧离子等离子体处理AgNbO₃薄膜

抑制杂相与氧空位

通过逐层氧离子等离子体处理，有效调控薄膜表面化学态与微观结构，从而显著提升反铁电性与耐压强度。

周云鹏 · Tang, Zhehong · Yijia, Bai · Guo, Fei · 陈介煜

Journal of the European Ceramic Society 2024

具体参数

储能密度
{'zh': '13.13', 'en': '13.13'} J/cm³
储能效率
{'zh': '56', 'en': '56'} %

技术优势

杂相被有效抑制

氧离子等离子体逐层处理改变了薄膜表面化学态，避免非钙钛矿相生成，从而恢复本征反铁电性。

击穿强度显著提升

晶粒尺寸减小、绝缘性能改善，直接提高了薄膜的耐压能力，支撑高储能密度。

工艺简便可复制

溶胶-凝胶法结合等离子体处理，无需复杂设备，利于放大和实用化。

应用场景