SOI基微电极旋转振动传感器

高灵敏度低噪声

基于SOI微电极的电化学传感器，专门测量旋转振动,对线性振动无响应,可用于地震监测中的旋转分量探测。

梁天 · Zhenyu, Sun · Lintao, Hu · Maoqi, Zhu · Mingbo, Zhang · Qinghua, Liu · 陈健 · 陈德勇 · Lu, Yulan · 王军波

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2023

具体参数

灵敏度

270 V/

技术优势

噪声水平 1.99×10⁻⁸ (rad/s²)/Hz¹ᐟ²

对线性振动无响应