亚纳米跨尺度
该位移传感器利用编码图案实现三自由度平面运动的视觉测量，在90 mm×90 mm范围内达到亚纳米分辨率，突破测量分辨率与量程难以兼得的瓶颈。
Jiyu, Li · 陈涛 · 毕树生 · 王玉亮
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2025
X、Y位移从相位谱提取，旋转角θZ从幅度谱提取，三轴测量相互独立，避免了传统方法中的串扰误差，简化了标定和补偿。
在90 mm×90 mm的大行程范围内保持亚纳米分辨率（X轴0.81 nm，Y轴0.77 nm），打破了高分辨率与大量程不可兼得的传统限制，无需切换传感器或拼接测量。
通过连续采集周期性图像并分析频谱，可在90 mm×90 mm区域内实现实时轨迹追踪，适用于动态运动控制，而非常规的静态单点测量。