非金属基板快速测厚
用于电子工业产线非金属基板的简易高精度厚度检测，通过机械或手动扫描实现快速便捷安全的测量。
Peng, Huajiang · 杨晓庆 · Wentao, Peng · Xiaohua, Wu · Shan, Tian
IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 2024
传感器在2500 μm范围内具有25 μm的可靠厚度测量能力，理论测量精度小于1%。
平均频移精度超过0.634 MHz/μm，能够灵敏地反映厚度变化。
传感器可通过机械或手动扫描方式对产线上的非金属基板进行快速检测。