LaB6复合钙钛矿薄膜

离子注入调控电阻

通过B离子注入在LaMnO3薄膜中原位形成LaB6第二相，实现电阻率的宽范围调控，同时保持钙钛矿结构和表面平整度。

Song, Yuxian · Bo, Yang · Xinmiao, Wang · 高博 · 陈朝阳 · Chang, Aimin · Pan, Ye · 孔雯雯

Ceramics International 2023

参数信息

载流子浓度

1.33×10^16 cm^-3

载流子浓度

1.80×10^15 cm^-3

电阻率

46 Ω cm

电阻率

381 Ω cm

热常数

2229 K

热常数

2783 K

技术优势

电阻率调幅大

载流子浓度下降一个数量级，电阻率从46 Ω cm增至381 Ω cm，变化近一个数量级。

结构保持性好

离子注入后薄膜仍为钙钛矿结构，表面平整度良好，未因掺杂而恶化。

应用场景

• 电子材料：提供一种不破坏结构即可宽范围调节电阻率的方法。
• 电阻式存储器：利用电阻率的大幅变化实现存储状态区分。
• 传感器：通过电阻率对工艺条件的敏感响应实现传感功能。