三维测量微米级精度
用单一超构表面同时实现结构光投射与光谱接收,三维测量无需额外折射透镜,在金属和晶圆上达到微米级深度与横向精度。
Jing, Xiaoli · Liao, Qiming · Liang, Misheng · Bo, Wang · 李俊杰 · Yongtian, Wang · 尤瑞 · 黄玲玲
Opto-Electronic Advances 2025
单层超构表面同时实现结构光投射与光谱接收,取代传统光场系统中的折射主透镜,使系统紧凑轻量。
利用深度相关的光谱响应而非传统三角测量,避免结构光在高度折射物体上的失效,在金属表面验证了测量能力。
轻量级、物理可解释的算法处理光谱数据,高效恢复深度信息,无需复杂深度学习模型。
单层设计结构简单,易于集成到现有光路,可通过阵列扩展实现大面积测量。