弱非线性大转角
通过调整侧梁中心偏移可显著降低扭杆的立方弹簧常数非线性，使MEMS反射镜在3002.36 Hz下保持线性工作并实现95°光学扫描角。
Song, Xudong · 乔大勇 · Song, Xiumin
Journal of Microelectromechanical Systems 2025
通过调整侧梁中心偏移，三阶弹簧常数非线性降低，使反射镜在大角度下仍保持线性工作。
所设计的MEMS反射镜在3002.36 Hz频率下实现95°光学扫描角，兼顾高速与大视场。
通过推导弹簧常数并定义非线性因子，确定了非线性主要由侧梁中心偏移决定，为设计低非线性扭杆提供了理论依据。