双层热弯曲微梁

尺寸效应显著

考虑尺寸效应与剪切效应的双层微梁热弯曲模型，可高精度预测微执行器的静态响应。

Ye, Xuan · 马寒松 · 刘小明 · 魏悦广

European Journal of Mechanics, A/Solids 2023

参数信息

挠度变化可

44.6 %

技术优势

剪切变形已计入

采用Timoshenko梁理论，在长高比较小时给出更准确的挠度，而非经典Euler-Bernoulli梁的过高刚度。

应用场景

• MEMS热执行器：用该模型预测双层微梁驱动位移，减少试错流片。
• 微梁传感器：精确计算温度变化引起的挠度，提高传感标定精度。
• 微尺度结构设计：在长高比和尺寸效应之间做量化权衡，避免刚度误判。