NO₂检测限低至100 ppt
基于MOCVD工艺的氧调控GaN薄膜传感器，可在氧化性与还原性气体检测间切换，并集成温湿度传感，用于呼气智能诊断。
Han, Dan · Zhekai, Zhang · Zhengyang, Jia · Juxu, Guang · Wang, Guojing · 王卫东 · 何秀丽 · 桑胜波
Advanced Science 2025
n-GaN 传感器对 NO₂ 的检测限达到 100 ppt，对 NO 达到 2 ppb，能够检测呼气中痕量疾病标志物。
传感器具有优异的疏水性，显著提升在高湿度呼气条件下传感的可靠性，无需额外除湿。
通过调节 In 组分改变晶格氧/吸附氧比例，传感器选择性可从氧化性气体切换到还原性气体，实现多气体检测。