微圆金刚石刀具

刃口优于30 nm

面向功能性微结构表面加工的精密金刚石刀具，通过取向设计与研磨工艺协同优化，实现刃口波纹度和锋利度的稳定控制。

Liu, Hanzhong · Ruitao, Zhang · 宗文俊 · 孙涛

Jixie Gongcheng Xuebao/Chinese Journal of Mechanical Engineering 2023

参数信息

刃口波纹度

<30 nm/60°

刃口锋利度

<50 nm

技术优势

刃口波纹度优于 30 nm

采用专用研磨机床批量生产的微圆金刚石刀具，刃口波纹度优于 30 nm/60° 开口角，确保微结构表面加工精度与一致性。

锋利度优于 50 nm

刀具刃口锋利度优于 50 nm，能够实现更精细的微结构加工。

可批量生产

利用专用研磨机床可实现微圆金刚石刀具的批量生产，满足工业化需求。

应用场景

• 微结构功能表面加工：直接加工出高精度微结构表面，减少后续修整工序。
• 超精密加工：提供纳米级刃口质量的刀具，满足超精密加工对工具性能的要求。
• 光学模具制造：用于加工光学模具的微结构特征，确保面形精度和表面质量。
• 微流控芯片制造：加工微流控芯片中的微通道结构，保证通道尺寸一致性和表面光洁度。