亚表面损伤更低
通过优化线锯工艺参数，显著降低蓝宝石晶片亚表面微裂纹损伤深度，改善表面形貌一致性。
Zhenfeng, Zhu · 高玉飞 · Xingchun, Zhang
Engineering Fracture Mechanics 2023
线速度从1000 m/min提高到1600 m/min时，材料以脆性模式去除，SSD减小，同时崩边尺寸和表面凹坑数量减少。
进给速度从0.5 mm/min降到0.05 mm/min可减小SSD，同时提高表面形貌一致性。
增大磨粒密度并减小磨粒尺寸可直接降低SSD，为工业选配锯丝提供依据。