氢钝化Ga2O3肖特基二极管

界面态降一个量级

用氢处理降低界面缺陷,让氧化镓二极管的正向电流和界面质量同时改善。

Yue, Shaozhong · 郑雪峰 · Hong, Yue Hua · Zhang, Xiangyu · Zhang, Fang · Wang, Yingzhe · 吕玲 · 曹艳荣 · Xiaohua, Ma · 郝跃

IEEE Transactions on Electron Devices 2023

具体参数

开启电压降低
{'zh': '0.3', 'en': ''} V
正向电流密度增加
{'zh': '28', 'en': ''} %
state density decreased
{'zh': '', 'en': '1.6×10^12'} cm⁻²·eV⁻¹
activation energy decreased
{'zh': '', 'en': '0.1'} eV