氢钝化Ga2O3肖特基二极管
界面态降一个量级
用氢处理降低界面缺陷,让氧化镓二极管的正向电流和界面质量同时改善。
Yue, Shaozhong · 郑雪峰 · Hong, Yue Hua · Zhang, Xiangyu · Zhang, Fang · Wang, Yingzhe · 吕玲 · 曹艳荣 · Xiaohua, Ma · 郝跃
IEEE Transactions on Electron Devices 2023
具体参数
- 开启电压降低
- {'zh': '0.3', 'en': ''} V
- 正向电流密度增加
- {'zh': '28', 'en': ''} %
- state density decreased
- {'zh': '', 'en': '1.6×10^12'} cm⁻²·eV⁻¹
- activation energy decreased
- {'zh': '', 'en': '0.1'} eV