6英寸晶圆均匀稳定
在6英寸晶圆上实现纯尖晶石相、高灵敏度且均匀稳定的NTC热敏薄膜，可用于热流检测。
Shuo, Wang · Bo, Yang · Xinmiao, Wang · 陈朝阳 · Chang, Aimin · 高博 · 孔雯雯
Sensors and Actuators, A: Physical 2023
元素分布均匀，电学性能一致性好，为器件集成提供可靠基础。
B值达3908 K，对温度变化响应灵敏，适合精密热检测。
电阻漂移仅3.4 ppm，长时间使用性能不衰退。