高速高分辨
该致动器采用双摇杆柔性铰链机构，在实现高速与高分辨率的同时，将正反向速度偏差降至4.9%，解决了传统压电惯性致动器正反向运动不对称的难题。
Sun, Pingping · 雷成龙 · Ge, Chuannan · Guo, Yunjun · Zhu, Xingxing
Micromachines 2023