硅基多通道气体吸收光谱仪

同步测三路气样

把调频连续波干涉系统集成到硅光芯片上，一台仪器同步测量多路气体光谱，气体吸收峰波长精度优于0.002 nm。

贾琳华 · Bing, Jin · Zheng, Jihui · 曲兴华 · 张福民

Journal of Lightwave Technology 2023

参数信息

气体吸收峰波长精度

0.002 nm

技术优势

一个芯片测三路

频分复用让不同测点的吸收光谱在同一时间被读取，无需时分扫描或切换。

波长测到小数点后三位

气体吸收峰波长的相干平均测量精度优于0.002 nm，足以区分重叠吸收峰。

片上自带线性化标尺

引入4 m固定延迟的辅助干涉光路来校正调频非线性，无需外接参考干涉仪。

应用场景

• 气体传感：多点同时测气样，适合在线监测多组分气体。
• 物联网传感网：芯片可集成进传感节点，多路复用降布线成本。
• 片上光谱分析：片上干涉光路直接完成光谱测量，无需台式分光计。
• 精密光学测量：0.002 nm波长精度的光程测量可用于精密计量。