光刻衍射光学元件

仿真偏差低于1%

用光刻工艺实现折射率与厚度的精确控制，使实测衍射性能与设计仿真高度吻合。

Dai, Xingang · 胡彦君 · Qun, Dai · Yu, Ao · 荆高山 · 李源 · Fan, Guofang

Nanomaterials 2025

参数信息

硅衬底上仿真与实验偏差

0.53 %

蓝宝石衬底上仿真与实验偏差

0.57 %

技术优势

3×3与3×5分束器实例