节能28.4%，成膜更均匀
通过工作台材料更换与铜屏蔽圈插入，显著降低热耗散并改善衬底温度均匀性，使金刚石膜在多衬底上沉积更均匀。
王新昶 · Enzhi, Liu · Weihan, Li · Qiao, Yu · 孙方宏 · Da, Shu
Journal of Cleaner Production 2024
通过降低热传导和屏蔽热辐射，直接减少电耗，因而合成成本下降。
衬底温度分布更均匀，保证了同批次多衬底上金刚石膜厚度与质量一致。
在降低功率的同时将灯丝温度保持在约2200 °C，金刚石生长的化学环境不变。