自夹式反滑抑制
利用多模态与自夹持机制，在谐振态下实现双向驱动、微米级位移分辨率，并有效抑制回滑。
贺良国 · Xukang, Yue · Shan, Zengxiang · 潘成亮 · 张连生 · Feiyun, Xiao
IEEE Transactions on Industrial Electronics 2024
利用一阶和二阶振动模态分别实现正向和反向运动，无需多个振动器或复杂的驱动机构。
自夹持机制在预紧力超过 3 N 时完全消除回滑，提高定位稳定性。
通过多模态驱动可从准静态的 4 μm 分辨率调节到谐振态的 12 μm，适应不同精度需求。