半球谐振器平衡方法

频差降至亚毫赫兹

一种同步微调系统,在单次测试中同时识别品质因数、频差和刚度轴角,并通过聚焦离子束刻蚀将频差降低至0.0005 Hz以下。

张文明 · Yinan, Zhang · Gu, Haoyu · Lin, Zhihui · Qi, Wei · 周斌 · 张嵘

IEEE Sensors Journal 2023

参数信息

修调后频差
0.0005 Hz
最佳频差
0.00005 Hz

技术优势

单次测试多参数

品质因数、频差和主轴角可在一次测试中同时识别,提高了修调效率。

显著降低频差

通过聚焦离子束刻蚀,所有谐振器的频差均降至0.0005 Hz以下,最佳结果达0.00005 Hz。

应用场景