4英寸晶圆并行制造
该成果将二维图案并行转化为三维光子结构，打破了纳米级精度与晶圆级规模制造之间的传统权衡。
王益 · Cai, Luo · Nannan, Hu · Liu, Gaojing · 鲍鹏 · Jin, Aizi · 刘宝利 · 全保刚 · Li, Geng · 樊晓峰 · Hu, Sha · 郭旸 · 顾长志
Advanced Materials 2026
该技术采用广束离子束并行刻蚀，而非逐点串行写入，因此能在整个4英寸晶圆上同时形成结构，制造时间比串行FIB方法缩短超过两个数量级。
该平台在整个4英寸晶圆上实现了超过97%的角度均匀性，确保了大面积内各器件的性能一致性。
制造的手性三维弯曲超表面在红外波段实现了高达0.8的实验圆二色性，远超传统二维超表面。
集体屈曲的等离激元光栅能通过控制曲率在可见光谱范围内动态调节共振波长达150 nm，为可重构光子器件提供新途径。