970 µm 厚·自重 19.7 g
用柔性电路制成的二自由度静电致动器驱动，可在狭小空间和复杂表面执行加工与检测，而不会损伤脆弱目标。
Wang, Huacen · Yujin, Dai · Wang, Ting · Wang H.
Nature Communications 2026
整体厚度970 µm、重量19.7 g，可进入传统机器人无法到达的狭小空间，并减轻对脆弱表面的压力。
重复定位精度21.7 µm，适合微细加工和精细检测任务。
通过静电吸附足在平面、曲面和垂直基底上可靠运动，无需额外固定装置。
可携带达自重4.06倍的负载，并能承受3 kg重物冲击，适合携带工具执行任务。