ISD氧化镁薄膜

双轴织构可调

通过控制沉积条件，该薄膜能实现不同的织构角度和表面形貌，可用于涂层导体的缓冲层。

Chao, Han · 高博 · Tianrui, Qu · Li, Yugang · Bai, Chuanyi · Yanqun, Guo · 蔡传兵

IEEE Transactions on Applied Superconductivity 2023

参数信息

织构角从

27 °

技术优势

表面可致密化

增强的表面随机扩散使薄膜变得致密，减少柱状结构中的晶间空隙，有利于后续层的外延生长。

应用场景

• 涂层导体缓冲层：可提供织构基底，确保超导层晶粒取向一致。
• 超导带材：作为缓冲层，实现长带超导层的外延织构传递。
• 薄膜织构工程：通过调节工艺参数控制织构角和表面形貌。