毛细参数4.6倍
微鳍、微柱与凹腔复合结构，比常规微铣削吸液芯形成更流畅的毛细通道，显著提升超薄相变器件的供液能力。
唐恒 · Tang, Yong · Xiaoyu, Wu · 彭锐涛 · Sun, Yalong
Applied Thermal Engineering 2023
微鳍、微柱和凹腔复合结构形成流畅通道和毛细阀效应，使吸液高度和毛细参数分别达到微铣削吸液芯的约2倍和4.62倍。
线切割-电火花整形工艺避免了微铣削造成的严重变形和微柱消失，最大程度保留设计结构。
加工形成的粗糙表面与凹腔结构共同作用，增强毛细性能。