球形电极电流变抛光工具

粗糙度降至14 nm

电流变抛光工具通过球柱电极设计实现表面形貌的可控演化，为面形修整提供理论依据。

鲁聪达

Jixie Gongcheng Xuebao/Chinese Journal of Mechanical Engineering 2024

参数信息

最大去除深度速率的偏差

55 nm/min

技术优势

表面粗糙度从 Ra 78 nm 降至 Ra 14 nm

抛光头材质为钼