单晶压电平台

行程分辨率比43000

用PIN-PMN-PT单晶堆栈驱动、两级杠杆与桥式放大、双平行柔性铰链导引，在4.5 kg负载下实现大行程与纳米级分辨率，迟滞比单晶堆栈更低。

Jin, Haonan · 高翔宇 · Ren, Kaile · Weihong, Yang · Zhuo, Ran · 73891768

Sensors and Actuators, A: Physical 2025

具体参数

输出位移
{'zh': '129', 'en': '129'} µm
最小位移分辨率
{'zh': '3', 'en': '3'} nm
行程与最小分辨率比
{'zh': '43000', 'en': '43000'}
迟滞降低倍数
{'zh': '2–3', 'en': '2–3'} times

技术优势

行程分辨率比做到43000

同一平台既能推129 µm的大行程，又能以3 nm的最小步进定位，行程和最小分辨率的比值是已有报道平台里最高的。

迟滞比单晶堆栈还低

平台整体的迟滞比组成它的单晶压电堆栈小2–3倍，说明机械结构对迟滞有抑制作用，控制起来更容易。

4.5 kg负载下不变形

在4.5 kg负载下仍能输出129 µm的位移，说明双平行柔性铰链和并联平行四边形结构在受力时仍保持导向精度。

应用场景