声子晶体软支撑石墨烯谐振器

降低能量耗散

引入声子晶体软支撑结构，室温下品质因子有望提升且器件易碎问题得到改善。

Zheng, Xiande · Liu, Ying · 邱静 · 刘冠军

Nanomaterials 2024

技术优势

减少能量耗散

声子晶体软支撑结构能够抑制声子泄漏，从而降低机械能量耗散，有望提高品质因子。

解决易碎问题

通过优化悬浮释放和聚焦离子束刻蚀工艺参数，解决了声子晶体软支撑石墨烯谐振器制备中易断裂、易变形、成功率低的问题。

可调周期和孔径

通过参数优化，可以制备不同周期和孔径的声子晶体软支撑石墨烯谐振器，为性能调节提供了灵活性。

应用场景

• 高灵敏质量/力传感：利用石墨烯极薄的厚度实现高灵敏质量/力探测。
• 室温纳米机械谐振器：提升室温下品质因子，推动谐振器性能进步。
• 石墨烯器件：提供一种新型石墨烯谐振器结构。
• 航空航天传感：高性能纳米机械谐振器适用于航空航天传感。