大行程高精度成形
主从协同的快慢刀具伺服策略突破单一伺服的行程与带宽限制，适合在超精密车床上高精度、高效率地加工大行程复杂光学表面。
Meng, Yixuan · Wang, Xiangyuan · Wu, Hao · Zhu Z. · 张鑫泉 · 朱利民
IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 2024
慢刀具伺服提供大行程，快刀具伺服提供高带宽补偿，主从协调后不再受单一伺服的行程或带宽制约。
快刀具伺服实时跟踪并补偿慢刀具伺服的运动误差，使最终刀具轨迹更接近期望路径。
实验加工的微透镜阵列质量高，表明该策略大幅降低了慢刀具伺服的运动误差对成形精度的影响。